アプリケーション

DLC( Diamond-Like Carbon)コーティング装置用電源

納入事例・概略

機種名 HX060-200M2F
用途 刃物、ドリルなど耐摩耗性や耐食性が必要な部品等のDLCコーティング用ヒーター電源

DLC(Diamond-Like Carbon)コーティングとは:
真空中に炭素性ガスを封入し、グロー放電により鋼表面に数ミクロンの黒色炭素膜を生成させる処理で、ダイヤモンドに類似した高硬度・電気絶縁性・赤外線透過性などを持つ。

DLCコーティング装置で使われる電源
放電用電源(RF電源、直流電源)
バイアス電源、ヒーター用電源

ご採用理由

低圧の気体中にグロー放電を行いコーティングを行うが、不安定な環境の中での放電になる為、高安定度、高精度の電源が必要になる。
実験で安定性が確認できたので採用になった。

ご採用部門例

  • DLCコーティング装置メーカー

事例展開が期待できる部品メーカー

  • 自動車分野(エンジン部品、モーター部品、駆動系部品等)
  • 工作機械分野(切削工具(ドリル、等)、裁断刃、丸ノコ、ハサミ等)
  • OA機器分野・機械部品分野(摺動部、動力伝達部、ロボット部品)
  • 金型分野(プラスチック成形金型、ガラスレンズ成形金型 等)
  • 医療分野・バイオ分野(ステント、人工関節、カテーテル 等)
  • 飲食料品分野(魔法瓶・水筒内壁、ペットボトル)
  • 光学分野(ガラスレンズ、センサ保護カバー、レンズ保護カバー 等)
  • 精密機械分野(密閉用ガスケット、ゴムシーリング、シャフト、軸受等)

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